УДК 621.382
DOI: 10.36871/ek.up.p.r.2024.08.05.010
Авторы
Антон Владимирович Семенников,
Казанский государственный энергетический университет, Казань, Российская Федерация
Аннотация
В статье рассматриваются современные инновации в области микроэлектромеханических систем (MEMS), включая последние достижения в материалах, технологиях изготовления и проектировании. Особое внимание уделяется интеграции MEMS с другими технологиями, таким как наноэлектромеханические системы (NEMS) и микроэлектроника. Примеры инновационных применений MEMS в медицине, автомобильной промышленности и потребительской электронике иллюстрируют важность этих систем в различных отраслях. Рассматриваются тенденции и перспективы развития MEMS, а также технологические и коммерческие вызовы, с которыми сталкивается эта область.
Ключевые слова
MEMS, инновации, микроэлектромеханические системы, NEMS, материалы, технологии изготовления, интеграция, биосенсоры, автомобильные датчики, потребительская электроника, тенденции развития
